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光罩容器，輸送容納於該容器內之微影光罩之方法，及掃描在一容器內之光罩之方法

ＡＳＭＬ荷蘭公司

申請案號
092135993
公告號
200422786
申請日期
2003-12-18
申請人
ＡＳＭＬ荷蘭公司
發明人
捷特　詹　海瑞斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/20
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