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專利資訊
用於半導體處理設備之擴散黏結集成流體傳送系統
應用材料股份有限公司
申請案號
092136307
公告號
200416193
申請日期
2003-12-19
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
克洛基特馬克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B81B3/00
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