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專利資訊
具可擴張片層之污染屏障
ASML荷蘭公司
申請案號
092136406
公告號
200424796
申請日期
2003-12-22
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
里維斯 派特 貝克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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具可擴張片層之污染屏障 - 專利資訊 | NowTo 智財通