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專利資訊
微影裝置
ASML荷蘭公司
申請案號
092136408
公告號
200421048
申請日期
2003-12-22
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
諾德 詹 吉烈森
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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