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一種濺鍍靶材的製造方法

國家中山科學研究院

申請案號
092136504
公告號
200521258
申請日期
2003-12-23
申請人
國家中山科學研究院
發明人
陳家驊
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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一種濺鍍靶材的製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通