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專利資訊
漏氧檢測方法
力晶積成電子製造股份有限公司
申請案號
092137018
公告號
200522239
申請日期
2003-12-26
申請人
力晶積成電子製造股份有限公司
發明人
戴郡良
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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