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專利資訊
光罩處理器及使用此光罩處理器來處理光罩之方法
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
申請案號
092137334
公告號
200521632
申請日期
2003-12-29
申請人
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
發明人
黃洪濱
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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