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電漿產生裝置及其電漿氣體混成單元與方法

財團法人工業技術研究院

申請案號
092137403
公告號
200522800
申請日期
2003-12-30
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
陳志信
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H05H1/00
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電漿產生裝置及其電漿氣體混成單元與方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通