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可圖案化之低介電常數材料及其用於超大型積體電路(ULSI)互連之用途

萬國商業機器公司

申請案號
093100144
公告號
200508803
申請日期
2004-01-05
申請人
萬國商業機器公司
發明人
林慶煌
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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可圖案化之低介電常數材料及其用於超大型積體電路(ULSI)互連之用途 - 專利資訊 | NowTo 智財通