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用於負型作用光阻組成物之樹脂化合物

東京應化工業股份有限公司

申請案號
093100146
公告號
200410048
申請日期
1999-11-08
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
羽田英夫
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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用於負型作用光阻組成物之樹脂化合物 - 專利資訊 | NowTo 智財通