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專利資訊
用於負型作用光阻組成物之樹脂化合物
東京應化工業股份有限公司
申請案號
093100146
公告號
200410048
申請日期
1999-11-08
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
羽田英夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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