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矽絕緣（ＳＯＩ）晶圓之製造方法及矽絕緣（ＳＯＩ）晶圓

信越半導體股份有限公司

申請案號
093100368
公告號
200416813
申請日期
2004-01-07
申請人
信越半導體股份有限公司
發明人
阿賀浩司
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/02
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矽絕緣（ＳＯＩ）晶圓之製造方法及矽絕緣（ＳＯＩ）晶圓 - 專利資訊 | NowTo 智財通