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圓盤狀基板的缺陷檢測方法,其裝置及光碟用基板的製造方法
TDK股份有限公司
申請案號
093100371
公告號
200416728
申請日期
2004-01-07
申請人
TDK股份有限公司
發明人
岡本俊彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G11B7/26
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