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使用磁力的可移除的光罩窗口和支撐架
ASML控股公司
申請案號
093100461
公告號
200416499
申請日期
2004-01-08
申請人
ASML控股公司
發明人
丹尼爾 蓋伯特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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