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磷摻雜單晶矽之製造方法及磷摻雜Ｎ型單晶矽晶圓

信越半導體股份有限公司

申請案號
093101045
公告號
200506113
申請日期
2004-01-15
申請人
信越半導體股份有限公司
發明人
櫻田昌弘
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C30B15/00
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