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鹽化合物,輻射敏感性酸產生劑及正型輻射敏感性樹脂組成物

JSR股份有限公司

申請案號
093101662
公告號
200505893
申請日期
2004-01-20
申請人
JSR股份有限公司
發明人
宮松隆
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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鹽化合物,輻射敏感性酸產生劑及正型輻射敏感性樹脂組成物 - 專利資訊 | NowTo 智財通