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專利資訊
拋光之半導體晶圓及其製造方法
世創電子材料公司
申請案號
093101677
公告號
200414341
申請日期
2004-01-20
申請人
世創電子材料公司
發明人
湯瑪斯 陶益謝勒
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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