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靜電夾盤裝置用電極片及使用該電極片之靜電夾盤裝置

巴川製紙所股份有限公司

申請案號
093101938
公告號
200416936
申請日期
2004-01-29
申請人
巴川製紙所股份有限公司
發明人
島武志
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/68
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靜電夾盤裝置用電極片及使用該電極片之靜電夾盤裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通