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專利資訊
在變壓器耦合電漿源中測量功率之方法
先驅能源工業公司
申請案號
093102031
公告號
200420888
申請日期
2004-01-29
申請人
先驅能源工業公司
發明人
裘恩 瓊斯 高薩雷茲
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01R11/00
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