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使電漿腔室中之離子轟擊能量降至最低的機構

先驅能源工業公司

申請案號
093102033
公告號
200420199
申請日期
2004-01-29
申請人
先驅能源工業公司
發明人
裘恩 瓊斯 高薩雷茲
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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使電漿腔室中之離子轟擊能量降至最低的機構 - 專利資訊 | NowTo 智財通