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專利資訊
光阻用聚合物及光阻組成物
三菱化學股份有限公司
申請案號
093102100
公告號
200421036
申請日期
2004-01-30
申請人
三菱化學股份有限公司
發明人
百瀨陽
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/04
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