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螺旋耦合的遠端電漿源

艾克塞利斯科技公司

申請案號
093102132
公告號
200415961
申請日期
2004-01-30
申請人
艾克塞利斯科技公司
發明人
摩哈曼德 卡瑪瑞希
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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螺旋耦合的遠端電漿源 - 專利資訊 | NowTo 智財通