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專利資訊
探測卡針之清潔頻率最佳化
晶系公司
申請案號
093102135
公告號
200418119
申請日期
2004-01-30
申請人
晶系公司
發明人
陳明義
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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