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專利資訊
提供任務型自動化微影光罩缺陷可印分析之系統及方法
新納普系統股份有限公司
申請案號
093102874
公告號
200500812
申請日期
2004-02-06
申請人
新納普系統股份有限公司
發明人
齡勇 龐
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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