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專利資訊
矽之各向異性濕式蝕刻
山葉股份有限公司
申請案號
093103067
公告號
200424357
申請日期
2004-02-10
申請人
山葉股份有限公司
發明人
青島知保
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23F1/24
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