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專利資訊
具有一氣體沖洗系統之微影裝置
ASML荷蘭公司
申請案號
093103177
公告號
200428159
申請日期
2004-02-11
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
派特 卡列斯 戴 包克斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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