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專利資訊
用於深紫外光石印法之光阻組合物
克來里恩國際公司
申請案號
093103343
公告號
200504457
申請日期
2004-02-12
申請人
克來里恩國際公司
發明人
雷夫R 達麥爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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