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專利資訊
在使用端點產生稀硫酸過氧化物的方法
應用材料股份有限公司
申請案號
093103573
公告號
200423244
申請日期
2004-02-13
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
維哈佛貝可史帝文
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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