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專利資訊
薄膜形成裝置用構成元件及其洗淨方法
愛發科股份有限公司
申請案號
093104120
公告號
200500479
申請日期
2004-02-19
申請人
愛發科股份有限公司
發明人
平田招佑
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/00
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