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薄膜形成裝置用構成元件及其洗淨方法

愛發科股份有限公司

申請案號
093104120
公告號
200500479
申請日期
2004-02-19
申請人
愛發科股份有限公司
發明人
平田招佑
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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