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專利資訊
用於光阻組成物之溶解速率改性劑
普洛梅魯斯有限公司
申請案號
093104280
公告號
200428135
申請日期
2004-02-20
申請人
普洛梅魯斯有限公司
發明人
霍德斯 賴端F
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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