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專利資訊
用以將一基材相對於一支撐平臺定位之方法與設備
應用材料股份有限公司
申請案號
093104366
公告號
200428562
申請日期
2004-02-20
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
栗田伸一
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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