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經氟化之矽聚合物及包括該聚合物之光阻劑

羅門哈斯電子材料有限公司

申請案號
093104418
公告號
200428136
申請日期
2004-02-23
申請人
羅門哈斯電子材料有限公司
發明人
卡納貝薩　塞巴地
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/004
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