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光阻劑組成物之微分溶解率之控制方法,多環烯烴聚合物及用以製造這些聚合物之單體
萬國商業機器公司
申請案號
093104433
公告號
200421023
申請日期
2004-02-23
申請人
萬國商業機器公司
發明人
拉瑞F 羅斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/027
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