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專利資訊
拋光墊裝置及方法
羅門哈斯電子材料CMP控股公司
申請案號
093104782
公告號
200505634
申請日期
2004-02-25
申請人
羅門哈斯電子材料CMP控股公司
發明人
安德魯 史考特 露因
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24B7/24
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