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專利資訊
控制質量位置,尤其在微影裝置中控制質量位置
ASML荷蘭公司
申請案號
093104794
公告號
200424801
申請日期
2004-02-25
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
漢斯 包特樂
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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