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專利資訊
奈米疊層膜之原子層沈積法
夏普股份有限公司
申請案號
093104977
公告號
200424348
申請日期
2004-02-26
申請人
夏普股份有限公司
發明人
約翰 康利二世
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/452
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