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專利資訊
液浸曝光製程用光阻材料及使用該材料形成光阻圖型之方法
東京應化工業股份有限公司
申請案號
093105731
公告號
200426507
申請日期
2004-03-04
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
岩下淳
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/038
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