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真空內驅動裝置及使用該裝置的基板搬運裝置

安川電機股份有限公司

申請案號
093105948
公告號
200509504
申請日期
2004-03-05
申請人
安川電機股份有限公司
發明人
富永龍一郎
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H02K41/03
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