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專利資訊
可調式準直器與具有此種可調式準直器之濺鍍設備
國立交通大學
申請案號
093106007
公告號
200531181
申請日期
2004-03-08
申請人
國立交通大學
發明人
李承士
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/363
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