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專利資訊
可昇華之材料用之蒸發裝置
應用材料兩合股份有限公司
申請案號
093106035
公告號
200523382
申請日期
2004-03-08
申請人
應用材料兩合股份有限公司
發明人
根特克雷姆
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/26
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