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專利資訊
在基板表面上形成金屬氧化物之成膜方法
安內華股份有限公司
申請案號
093106069
公告號
200421457
申請日期
2004-03-08
申請人
安內華股份有限公司
發明人
熊谷晃
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
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