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包含用以決定一基底之高度及傾斜之至少一者之感測器之總成及其方法及一微影投射裝置

ＡＳＭＬ荷蘭公司

申請案號
093106318
公告號
200426534
申請日期
2004-03-10
申請人
ＡＳＭＬ荷蘭公司
發明人
羅夫　波尹荷夫
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/20
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