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微影投射組件,載入鎖及用以傳送物件之方法
ASML荷蘭公司
申請案號
093106320
公告號
200426535
申請日期
2004-03-10
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
愛柏特 詹 漢德克 克羅柏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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