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專利資訊
用於維護機器部件的方法和裝置
ASML荷蘭公司
申請案號
093106321
公告號
200508809
申請日期
2004-03-10
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
派特 喬漢斯 瑪里斯 范 葛魯斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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