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專利資訊
基材支撐舉升機構
應用材料股份有限公司
申請案號
093106546
公告號
200503143
申請日期
2004-03-11
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
史奇福艾瑞克W
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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