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專利資訊
改良之總體雙道金屬鑲嵌平坦化系統、方法與設備
蘭姆研究公司
申請案號
093106649
公告號
200501260
申請日期
2004-03-12
申請人
蘭姆研究公司
發明人
雪肯特P 婁荷凱
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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