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專利資訊
具有進出料鎖及裝置之塗覆設備
應用材料有限兩合公司
申請案號
093106817
公告號
200529934
申請日期
2004-03-15
申請人
應用材料有限兩合公司
發明人
烏衛 休斯勒
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B05C11/10
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