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具有小型多晶晶粒與相關結構之ＳｉＧｅ層的製造方法

新港費柏有限責任公司

申請案號
093106859
公告號
200425258
申請日期
2004-03-15
申請人
新港費柏有限責任公司
發明人
葛雷格　伍倫
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/02
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