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專利資訊
具有改善處理特色之晶圓載體
聖高拜陶器塑膠公司
申請案號
093106956
公告號
200425384
申請日期
2004-03-16
申請人
聖高拜陶器塑膠公司
發明人
理查F 柏克利
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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