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專利資訊
用以回收微影工具中所使用的氣體之方法及設備
ASML控股公司
申請案號
093106986
公告號
200421018
申請日期
2004-03-16
申請人
ASML控股公司
發明人
史帝芬 洛克斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/00
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