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專利資訊
應用於微影系統之通光孔板圖案
南亞科技股份有限公司
申請案號
093107272
公告號
200532396
申請日期
2004-03-18
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
吳元薰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F9/00
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